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晶圆测温系统，晶圆测温热电偶，晶圆测温装置一、引言随着半导体技术的不断发展，晶圆制造工艺对温度控制的要求越来越高。热电偶作为一种常用的温度测量设备，在晶圆制造中具有重要的应用价值。本文旨在探讨热电偶在晶圆制造中的应用及其优化方法，以提高晶圆制造的质量和效率。二、热电偶的基本原理和工作原理热电偶是一种
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